行业背景与竞争逻辑 - 在AI芯片性能需求指数级增长的背景下,传统半导体工艺面临天花板,现有技术储备无法完全满足未来高算力、高带宽的复杂需求 [1] - 行业竞争的赛点已转向更深层次的差异化原始创新,只有敢于深耕“无人区”的公司才能占据价值链顶端 [1] - 拥有自主知识产权与核心专利(IP)保护是企业参与全球化服务、构建核心竞争力的基石 [1] - 坚持“技术差异化、产品平台化、客户全球化”的发展逻辑,是为全球集成电路产业提供不可替代方案的关键 [1] 公司概况与战略定位 - 盛美半导体设备(上海)股份有限公司(盛美上海)是一家成立于2005年的平台型半导体设备公司 [1][3] - 公司从清洗设备入手,通过持续创新,已发展成为全球领先的平台型半导体设备公司 [1] - 公司始终坚持“技术差异化、产品平台化、客户全球化”的发展战略 [1][5] - 公司认为半导体设备行业对可靠性和精密性要求高,全球能够做成平台化的公司很少,这需要时间的耕耘和原始创新能力 [6] 核心业务:清洗设备的发展与成就 - 清洗设备是公司最初选择切入的赛道,是芯片制造中连接光刻、刻蚀、沉积等工序的关键环节,为“制程间的桥梁” [3] - 全球半导体清洗设备市场高度集中,在单片清洗设备领域,DNS、TEL、LAM三家公司合计市场占有率接近80% [3] - 公司自2008年研发出全球首创的SAPS(空间交变相移)兆声波清洗技术,并于2011年获得首台12英寸单片清洗设备海外订单 [4] - 公司已打造SAPS、TEBO、Tahoe清洗技术“铁三角”,覆盖95%以上的半导体清洗制程环节 [4] - Tahoe单芯片槽式复合清洗设备能有效节省高达75%以上的硫酸用量 [4] - 自主研发的SCCO₂超临界CO₂干燥设备,可实现CO₂消耗量降低30%以上 [4] - 2025年上半年,公司在中国半导体单片清洗设备市场的占有率超过30% [5] - 根据Gartner 2025年报告,公司清洗设备的国际市占率达8.0%,全球排名第四 [5] 产品多元化拓展与市场地位 - 公司在电镀设备、先进封装湿法设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备、PECVD设备、面板级封装设备等领域扩大布局 [5] - 在电镀设备方面,公司具有全球独立IP保护,根据Gartner 2025年统计,其国际市占率为8.2%,全球排名第三 [5] - 公司位列2024年中国大陆半导体专用设备制造五强企业 [5] “八大行星”系列产品平台发布 - 在SEMICON China 2026大会上,公司发布了拥有专属商标“盛美芯盘”的“八大行星”系列产品,象征其平台化战略布局 [8][10] - “地球”系列:清洗设备。凭借SAPS/TEBO兆声波技术、Tahoe清洗技术等原创技术,实现芯片制造95%清洗工艺全覆盖 [10] - “木星”系列:晶圆级先进封装湿法设备,包括湿法去胶、湿法金属刻蚀、涂胶、显影和硅蚀刻设备 [11] - “金星”系列:电镀设备。凭借独有的多阳极技术,实现前道大马士革、中道TSV、后道先进封装全流程电镀工艺全覆盖 [13] - “火星”系列:立式炉管设备。实现了从LPCVD、中温高温回火到原子级沉积ALD的全覆盖 [13] - “水星”系列:涂胶显影设备。于2022年首次推出,2023年第三季度推出300 WPH高产出KrF设备 [13] - “土星”系列:等离子体化学气相沉积(PECVD)设备。采用全球独有的三栈等离子腔设计以及有效的RF射频控制技术 [14] - “天王星”系列:面板级封装设备。于2024年推出,包括面板级先进封装电镀设备、负压清洗设备、边缘刻蚀设备 [14] - “海王星”系列:无应力抛光设备。可实现片内以及晶粒内的原子级别抛光 [14] 公司理念与未来展望 - 公司始终以客户为中心,将客户群比作“太阳”,八大行星系列产品围绕其运转,致力于为客户提供优质服务并响应其新需求 [8][16] - 公司认为未来AI所需的许多技术和设备尚未诞生,需要持续探索和创造,只有持续创新才能满足下一代技术的需求 [16] - 公司强调与客户同频共振、并肩前行,共同开展设备研发与新工艺应用的探索,认为半导体创新是各辟新径、协同成就的过程 [16]
盛美公布八大行星系列,再冲新高峰
半导体行业观察·2026-03-26 08:36