第3届光掩模与光刻胶技术论坛将于2026年4月24日在上海召开,奕斯伟、龙图、晶瑞、彤程、清溢、芯上微、雅克、中科卓尔、住友、康宁等齐聚
以下文章来源于半导体前沿 ,作者亚化咨询 半导体前沿 . 半导体与材料:集成电路 (IC)、大硅片、晶圆制造、先进封装;市场、项目、技术、设备、产业园区。 - 来自 彤程,龙图光罩,SEMI,复旦大学,南开大学,暨南大学,苏州实验室,上海光源,欣奕华,中电科48所,安捷伦,湖北菲利华,新维度微纳,四川大学, 优尼康 等单位的专家将作精彩报告 - 第3届光掩模与光刻胶技术论坛 将于 2026年4月24日 在 上海 召开 — 论坛信息 — 名称 : 第3届光掩模与光刻胶技术论坛 时间 : 2026年4月24日 地点 :上海 主办方 : 亚化咨询 — 会议背景 — 随着半导体工艺节点向2nm及以下推进,下一代光刻技术已成为行业焦点。主要方向包括高数值孔径极紫外(High-NA EUV)光刻、纳米压印光 刻、电子束光刻、定向自组装(DSA)和X射线光刻等。这些技术旨在提升分辨率、降低成本并提高产量。2026年,高NA EUV已进入高容量制造阶 段,而NIL和X射线光刻作为潜在颠覆者,正加速研发。 进入2026年,中国对高端光掩模的需求持续强劲增长,但技术研发、生产能力及产业链整合方面仍面临高成本、技术复杂性和供应链依 ...