公司2026年第一季度业绩 - 2026年第一季度营收为11.12亿元，同比增长57.0%，但环比下降51.6% [2] - 2026年第一季度毛利率为41.69%，同比大幅提升21.8个百分点，环比提升3.7个百分点 [2] - 2026年第一季度归母净利润为5.71亿元，同比增长7.18亿元，环比增长54.1% [2] 公司2025年全年业绩 - 2025年全年实现营收65.2亿元，同比增长58.9% [3] - 2025年全年毛利率为35.0%，同比下降6.7个百分点 [3] - 2025年全年归母净利润为9.3亿元，同比增长34.7%，扣非净利润为7.23亿元，同比增长103.1% [3] 核心产品表现 - 2025年半导体专用设备营收达63.0亿元，同比增长59.0%，整体销量同比增长33.0% [4] - PECVD设备2025年实现营收约51.42亿元，同比增长75.3%，持续获得客户复购和批量订单 [4] - ALD设备2025年实现销售收入约3.01亿元，同比大幅增长191.8% [4] - 混合键合设备2025年实现营业收入1.36亿元，同比增长41.9% [4] - 多款面向先进存储的PECVD工艺设备、首台SACVD等离子体增强SAF薄膜工艺设备、首台ALD TiN工艺产品、新一代高速高精度晶圆对晶圆混合键合产品及首台晶圆对晶圆熔融键合设备均通过客户验证 [4] 在手订单与增长前景 - 截至2025年底，公司在手订单达110亿元 [5] - 截至2025年底，公司合同负债达48.52亿元，同比增长62.7%，主要系预收货款大幅增加 [5] - 公司PECVD、ALD设备加速放量，混合键合设备逐渐起量，在手订单充足，未来有望加速增长 [2][5]