在10月23日下午成功举办的"芯驰神皖·成为未来"——2025科大硅谷（上海）推介会上，合肥皓宇芯光 科技有限公司产品负责人郑杨子博士受邀发表主题演讲。本次活动由科大硅谷服务平台（安徽）有限公 司主办，成为资本承办，安徽省汽车创新中心、上海市合成生物学创新中心协办。本文内容根据现场发 言整理。 郑杨子： 各位领导、各位专家、各位同行朋友，大家下午好！ 感谢成为资本的邀请，也非常荣幸代表合肥皓宇芯光科技有限公司，向各位介绍我们在极紫外 （EUV）光源与高次谐波产生（HHG）技术领域的探索与进展。 今天的分享，我会分为几个部分：我们是谁，我们在做什么，我们的核心技术路线，我们的应用成果， 以及我们对未来的思考。希望通过这次交流，能让大家对"国产极紫外光源"这个看似专业、但又关乎国 家核心制造能力的话题，有一个更清晰的认识。 在众多激光与光源技术路线中，高次谐波产生（HHG, High Harmonic Generation）是皓宇芯光的核心。 我们都知道，传统的EUV光源主要有两种技术路线：一种是激光等离子体（LPP），另一种是放电等离 子体（DPP）。这两种路线功率高，但系统复杂、污染控制困难、造价昂贵。 相比 ...