金刚石膜剥离技术

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用胶带“撕”出超薄金刚石膜
环球网资讯· 2025-06-19 13:38
来源:中国科学报 他们发现,这种方法剥离的金刚石片非常薄,不到一微米,比人的头发丝还要纤细,而且足够光滑,可 以用于硅芯片的蚀刻技术。 据介绍,该方法能够大规模生产大面积(2英寸晶圆)、超薄(亚微米厚度)、超平(亚纳米表面粗糙 度)和超柔性(360°可弯曲)的金刚石膜。这些高质量的膜具有平坦的可加工表面,支持标准的微制造 技术,其超柔性特性允许直接用于变形传感应用,而此前那些厚重的膜则无法实现该应用。 "这不由得让人想起石墨烯的早期研究,当时使用透明胶带从石墨中生产出第一层石墨烯。我从来没想 过这种方法还可以用于金刚石。"英国华威大学的Julie Macpherson说。 "这种新的剥离方法将成为多种设备设计和实验方法的推动者。"剑桥大学的Mete Atatre说。(沈春蕾) 相关论文信息:https://doi.org/10.1038/s41586-024-08218-x 《中国科学报》 (2025-01-01 第3版 领域) 金刚石,又称钻石,具有不同寻常的电子特性。它既是一种良好的绝缘体,又可以让具有一定能量的电 子以很小的阻力移动,成为制造电子产品的优质材料。不过,生产大量的超薄金刚石膜仍面临挑战。 ...