清华大学仪器设备采购计划 - 清华大学发布8项仪器设备采购意向 预算总额达1.29亿元[1][2] - 预计采购时间为2026年1月[2] 具体采购项目清单 - 电子束专用涂胶机 预算650万元[4] - HF-XeF2干法释放刻蚀系统 预算600万元[4] - 化学机械抛光设备 预算1000万元[4] - 高精度倒装键合系统 预算1000万元[4] - 减薄清洗一体机 预算500万元[4] - 激光划片机 预算700万元[4] - 多腔室物理气相沉积系统 预算6000万元[4] - 片-片真空键合系统 预算2500万元[4]