特别提示 微信机制调整，点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标，否则很可能无法看到我 们的推送。 近日， 中国科学院上海微系统与信息技术研究所发布 16 项仪器设备采购意向，预算总额达 1.12 亿 元，涉及大翘曲光阻涂布显影系统 、大翘曲胶膜移除系统模块、多材料堆叠除泡系 统模块 、多功能刻蚀系统模块 、超高精度微波驱动模块 等，预计采购时间为202 5 年 4~6 月。 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 202 5 年 4~6 月 仪器设备采购 意向汇总表 | 采购 | 预算 | 采购 | | --- | --- | --- | | 项目 | 万元 | 时间 | | 大翘曲光阻涂布显影系统模块采购 | 750 | 202 5 年 6 月 | | 大翘曲胶膜移除系统模块采购 | 662 | 202 5 年 6 月 | | 多材料堆叠除泡系统模块采购 | 123 | 202 5 年 6 月 | | 多功能刻蚀系统模块采购 | 2750 | 202 5 年 6 月 | | 光电耦合集成模块模块 | 140 | 202 5 年 6 月 | | 超高精度微波驱动模块采购 | 250 | 2 ...