采购计划总览 - 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所发布33项仪器设备采购意向，预算总额达1.59亿元 [1][2] - 采购计划时间跨度为2025年7月至11月 [2] 高价值核心设备采购 - 高行频4K TDI成像探测器采购预算为800万元，具有100kHz超高行频特殊技术指标，应用于高分辨率宽幅光学成像技术研发 [5] - 曲面多层膜沉积模块预算为450万元，主要用于曲面微纳元件功能膜层沉积 [3] - 热等静压炉预算为780万元，是能承受极端高温与高压的大型反应装置，为实现热等静压工艺的核心装备 [3] - 自由曲面磁流变抛光设备预算为1146万元，用于复杂形状的光学元件超精密修形抛光与超光滑抛光 [5] 先进材料与光谱表征系统 - 多模态受激分子光谱表征子系统预算为745万元，集成荧光、拉曼、磷光寿命等多种光谱成像模式，实现跨维度动态追踪 [3] - 可见-太赫兹高分辨真空光谱表征子系统预算为769万元，用于发光物理、激光技术、光电探测等研究 [3] - 极紫外高分辨光谱表征系统预算为545万元，波长在5-115nm极紫外波段，用于材料透射和反射光谱测试 [4] - 宽谱带动力学表征系统预算为400万元，基于超快泵浦-探测原理，能在飞秒至皮秒时间尺度上探测样品的瞬态吸收现象 [4] 纳米级加工与检测设备 - 高分辨透射电子显微成像子系统预算为709万元，可提供原子尺度的结构化学信息，实现亚纳米级静态动态结构表征 [4] - 离子束加工子系统预算为630万元，利用离子束进行样品纳米级加工，包括纳米级切割、挖孔，对半导体材料等进行加工 [4] - 微纳尺度成像系统预算为102万元，在实现扫描电子显微镜高分辨度形貌成像的基础上，结合阴极荧光获得发光特征 [4] - 曲面激光直写模块预算为837万元，用于复杂曲面元件的微纳结构生成与制备，解决传统平面光刻在三维表面加工中的技术瓶颈 [4] 精密测量与支撑系统 - 真空获得及保持组件预算为275万元，是五轴离子束刻蚀模块的核心基础单元，需满足高真空环境及长期稳定运行要求 [4] - 真空运动及控制系统预算为123万元，是五轴离子束刻蚀的核心执行机构，需满足皮米级曲面微纳元件加工所需的高精度要求 [4] - 测量系统预算为245万元，通过激光进行测量，通过距离和角度计算获得空间三维坐标，以实现对空间被测物体跟踪和测量 [4] - 支撑框架平台系统预算为370万元，主要实现两套运动平台的支撑作用，单套运动平台为65吨，两套共130吨 [5]