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等离子体源系列
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数亿元,复旦系国产高端仪器公司完成C轮融资
仪器信息网· 2026-05-09 19:28
公司融资与资金用途 - 费勉科技完成数亿元人民币C轮融资,由复容投资、复旦科创、工业母机基金、元禾璞华、深创投等十余家国家级产业资本和知名机构共同参与 [1] - 融资资金将主要用于研发投入、专利布局、产能提升及市场拓展、组织建设 [1] 公司背景与定位 - 公司创立于2012年,核心创始团队均出身复旦大学凝聚态物理领域 [2] - 公司是一家高端科学仪器设备供应商,为全球学术研究机构及工业客户提供从设备到工艺的整体解决方案 [2] 核心技术基础 - 公司以薄膜制备、真空技术、低温技术、等离子技术四大核心技术为基础 [2] 核心产品与应用领域 - 公司主要生产用于半导体、新材料等前沿科研和工业领域的精密仪器 [2] - 核心产品包括分子束外延(MBE)系统、脉冲激光沉积(PLD)设备、化学气相沉积(CVD)系统、等离子体源系列、低温技术产品、真空技术与控制系统等 [2]