文章核心观点 - 多个科研项目计划于2026年1月至3月期间，集中采购一批高端科研仪器设备，总预算高达1.39亿元人民币[1] - 此次采购清单覆盖了半导体工艺、材料科学、显微分析、光谱学、真空技术、辐照测试等多个前沿科研领域，显示出对先进研发基础设施的集中投入[1][3][4][5][6] 采购计划总览 - 采购计划总预算为1.39亿元，预计采购时间为2026年1月至3月[1] - 采购清单共包含24项仪器设备，涉及拉曼/原子力显微镜/探针、真空低温半自动探针台、场发射扫描电子显微镜、激光共聚焦显微镜、傅里叶转换红外光谱仪等高端设备[1] 半导体工艺与微纳加工设备 - **手套箱互联系统**：为满足先导工艺线需求，计划采购多套全自动手套箱互联系统，用于MOCVD、衬底钝化/退火/转移、匀胶/去胶、拉曼/原子力显微镜等设备的样品自动取放，预算单价为147万元，总采购数量为12台[3] - **CVD设备改造**：计划将现有CVD炉改造为MOCVD设备，包括2英寸改造（预算100万元/2台）和4/6/8英寸改造（预算149万元/3台）[3] - **匀胶与去胶设备**：计划采购高精度全自动匀胶设备（预算100万元/1台）和兼容2-8英寸的去胶设备（预算100万元/1台）[3] - **临时键合/解键合机**：适用于12英寸以下晶圆，预算150万元[5] - **纳米压印系统**：适用于四英寸及以下基片，压印结构精度优于50nm，预算450万元[5] - **高压电子束曝光**：设备要求加速电压≥100KV，最小线宽≤8nm，预算高达3000万元[4] 材料制备与表征系统 - **氧化物分子外延生长系统**：要求工艺真空不低于10^-6 Pa，配备快速进样室，预算650万元[5] - **空间光伏辐照平台材料原位辐照系统**：集成材料制备、辐照与物性测试，采用真空互联，预算3000万元[5] - **碳分子筛膜智能化与辅助系统**：包含机械臂、高精度流量控制器等，用于微米级纺丝等操作，预算370万元[6] 显微成像与光谱分析设备 - **场发射扫描电子显微镜**：要求二次电子分辨率达1.0nm（15kV），预算490万元[4] - **激光共聚焦显微镜**：要求最大扫描像素不低于6144x6144，预算200万元[4] - **傅里叶转换红外光谱仪**：主机光谱范围8000-400cm-1，预算400万元[4] - **原子力显微镜**：要求扫描范围≥90μm x 90μm x 8μm，具有多种测量模式，预算320万元[5] 真空、低温与测试测量设备 - **真空低温半自动探针台**：需满足77K至20K低温及高真空环境下的8英寸晶圆级自动化测试，预算1200万元[4] - **纯化器**：用于氩气、氢气、氧气纯化，精度要求单项杂质<0.1ppb，预算225万元/5台[3] - **特气柜**：要求氦气检测泄露率<1x10E-9mbar l/s，预算260万元/13台[3] - **高动态矢量网络分析仪**：频率范围10MHz-43.5GHz，预算480万元[5] 辐照与无损检测系统 - **空间光伏辐照平台电子辐照系统**：电子能量0.2-3 MeV连续可调，预算1300万元[5] - **空间光伏辐照平台质子辐照系统**：可提供质子和氦离子束，能量0.2-3 MeV连续可调，预算2700万元[6] - **高能工业CT系统**：电子束能量2/9MeV可切换，具备DR成像及高精度CT扫描功能，预算高达5000万元，货期长达36个月[6] 辅助与基础设施 - **隔振基座**：采购24台，预算144万元[3] - **气体配套设备**：采购20台，预算100万元[3] - **特气柜、气体报警等**：采购8台，预算240万元[5] - **实验室家具**：包括实验台、通风柜、安全柜等，预算4518万元[5]