东南大学仪器设备采购意向 - 东南大学发布37项仪器设备采购意向，预算总额达1.21亿元，涉及薄膜热应力测量仪、扫描电化学显微镜、汞探针测试仪、傅里叶红外光谱仪等设备，预计采购时间为2025年5~6月 [1][2] - 采购清单包含胶膜层压机（预算320万元）、Parylene沉积设备（50万元）、薄膜热应力测量仪（302万元）、扫描电化学显微镜（340万元）、汞探针测试仪（340万元）、傅里叶红外光谱仪（230万元）等 [4] - 12寸探针台预算450万元，要求XY精度优于±2微米，Z精度优于2微米，EMI屏蔽>30 dB@1 kHz-1 MHz，温度范围-60至200°C [4] - 晶圆减薄机预算800万元，要求减薄后12寸晶圆片内厚度偏差小于2.5微米 [5] - 12寸等离子增强气相沉积设备预算1650万元，要求12英寸晶圆片内不均匀度小于5% [5] 高端科研设备技术参数 - 薄膜热应力测量仪需满足测量范围1MPa-7.8GPa，应力测量精度<1%或0.32 MPa，翘曲扫描分辨率1微米 [4] - 扫描电化学显微镜需具备3D控制平台位移扫描范围100 mm×100 mm×100 mm，X/Y/Z三轴扫描精度优于1 nm [4] - 汞探针测试仪要求载流子浓度测试范围1E14-1E19 carriers/cm³，测试精度≤2%，测试重复性≤0.50% [4] - 傅里叶红外光谱仪需满足光谱范围8000－400 cm-1，分辨率优于0.2 cm-1，波数精度优于0.01 cm-1 [4] - 半导体器件脉冲电压电流测试系统要求最大脉冲电压1500V，最大脉冲电流33A，最小脉宽200ns [5] 生物医学设备采购 - 超高分辨率激光共聚焦显微镜预算595万元，需具备超分辨视野、多激光、全自动荧光显微镜、活细胞培养功能 [5] - 流式细胞仪预算240万元，需具备高灵敏度、高分辨率、多激光器功能 [5] - 高分辨率活细胞工作站预算200万元，用于观测活细胞增殖、迁移、粘附等动态过程 [6] - 全自动体视荧光显微镜采购2套，预算170万元，需具备多通道体视荧光采集、超长寿命荧光光源 [6] - 超低温冰箱采购32台，预算173万元，要求温度达到零下80°C [6] 特种实验装置 - MW级加压富氧燃烧平台预算185万元，需实现0.1~1.5MW燃料在≤1MPa富氧环境下燃烧，燃烧效率≥95% [5] - 环境模拟实验装置舱体及系统集成预算2500万元，用于极地与极端环境模拟实验，要求质保期3年以上 [6] - 雷达信号收发器预算436万元，需覆盖低频至毫米波频段，支持FPGA资源拓展开发 [5] - 微纳中心原位力学测试系统预算470万元 [6] - 超快光声光谱测量与成像系统预算300万元，包含飞秒激光器和超快光声测量模块 [6]