12英寸槽式湿法蚀刻机

搜索文档
1.48亿元!多单位近期大批仪器采购意向
仪器信息网· 2025-08-16 12:05
政府采购仪器设备采购意向 - zycgr发布24项仪器设备采购意向 预算总额达1.48亿元[1][2] - 采购预计时间为2025年7~10月[2] 半导体制造设备 - 12英寸槽式湿法蚀刻机预算640万元 用于III-V材料刻蚀及Si、SiN等物质的蚀刻工艺[3] - 12英寸后段湿法去胶机预算560万元 用于后段含金属暴露的晶圆有机污染物清洗及光刻胶去除[3] - 12英寸单片RCA清洗机预算850万元 用于含III-V与薄膜铌酸锂材质的晶圆清洗工艺及前道湿法去胶[3] - 12英寸晶圆预清洗机预算270万元 用于CMP、炉管、薄膜前后对晶圆表面、背面及边缘的清洗[3] - 全自动晶圆级源/有源器件性能验证光电测试台预算700万元 支持OO、OE、EO、EE晶圆级批量自动测试 覆盖硅光无源/有源器件[6] 光通信设备 - 800G ZR光模块采购24个 预算190万元 支持单波800Gb/s光传输速度 覆盖C4.8T全波段可调[6] - C+L波段WSS波长选择开关模块采购65个 预算902万元 用于合分波、线路测波长双向均衡、波道填充及万波交换[6] - 400G CFP2-DCO光模块采购160个 预算1760万元 用于高速信号收发[6] 海洋工程与水下设备 - 柴油发电装置采购1套 预算408万元 包含柴油机舱、柴油机组及油箱 额定功率200kW[6] - 折叠桅杆装置采购1套 预算160万元 耐海水压设计压力7.2Mpa 工作条件为4级海况[6] - 惯性导航单元采购1套 预算155万元 工作电压729~967VDC 调速范围-1000rpm至+1000rpm[6] - 压载水舱模块采购2套 预算390万元 艏部压载水舱净容积2m³ 艉部压载水舱净容积3m³[6] - 易布放固定观测平台加工采购5套 预算242万元 包括标准型4套和声速型1套[6] - 水下推进器系统采购80套 预算120万元 推力≥5kgf 重量≤1.5kg 额定电压24VDC[6] - 温盐深传感器采购80套 预算768万元 工作水深≥1500m 温度准确度±0.001℃[6] - 浮力驱动系统采购80套 预算877万元 浮力调节量≥1.4L 工作压力≥15MPa[6] - 耐压主壳体采购80套 预算1216万元 工作压力不小于13MPa 外径240mm 长度2400mm[6] 科研与检测仪器 - 流式质谱系统前期研发项目预算600万元 用于蛋白和代谢组的高通链分析 具有单细胞/单粒子精准进样系统[6] - 高分辨率蛋白鉴定质谱仪预算1250万元 用于病原样本和感染样本的蛋白质组学分析 配备nano液相、离子淌度和高分辨质量分析模块[6] - 光学测试系统预算270万元 用于无源光器件的O+CL波段的IL、RL和PDL测试[6] - 光合荧光测量仪预算340万元 用于植物叶片光合作用、蒸腾作用、呼吸作用、叶绿素荧光等相关研究[6] 能源与电力系统 - 电池组采购项目预算561万元 潜航器锂离子电源系统1套 额定能量2800kWh 高压输出2800kW@870.4VDC[6] - 专用电池组采购项目预算792万元 锂亚电池组80套 额定电压28.8V 容量不小于12kWh[6] 基础设施与服务 - 某单位实验平台厂务设施运维服务预算800万元[6]