CVD'长白山'

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以中国名山命名半导体设备系列 “流量王”新凯来“群峰”耸立
深圳商报· 2025-10-16 07:00
【深圳商报讯】(首席记者王海荣 文/图)10月15日,湾芯展在深圳会展中心开幕。与这个展会同时掀 开面纱的,还有备受外界关注的"新凯来'新惊喜'"。 本届湾芯展群"芯"荟萃,吸引了众多行业代表企业参展。其中,位于1号馆的深圳市新凯来工业机器有 限公司(简称"新凯来")是备受瞩目的"流量王"。展位通过模型和展板的形式,陈列了新凯来的最新产 品和成果,其中以中国各大名山命名的半导体设备系列格外醒目,包括光学检测BFI产品"岳麓山"、物 理与X射线量测设备XPS"赤霞山"-XP、刻蚀产品ETCH"武夷山"、扩散产品EPI"峨眉山"和RTP"三清 山"、薄膜产品PVD"普陀山"及ALD"阿里山"、CVD"长白山",涉及工艺装备、量检测装备两大系列16 款产品,显示了雄厚的设备研发能力。 新凯来另一家子公司启云方科技也对外发布了两款拥有完全自主知识产权的国产电子工程EDA(电子 设计自动化)软件——原理图设计软件与PCB(印制电路板)设计软件,标志着我国在电子设计底层工 具链上实现了新突破,为国产芯片设计提供了安全、可控的"中国大脑"。 在3月举行的中国国际半导体设备和材料展上,新凯来一口气推出了6大类共31款半导体设 ...