High NA EUV lithography machine
搜索文档
Belgium's imec secures rare ASML High NA EUV tool to drive next-generation chips
Reuters· 2026-03-18 21:10
公司动态 - 比利时微电子研究中心(imec)宣布已获得一台阿斯麦(ASML)价值4亿美元的高数值孔径极紫外光刻机(High NA EUV) [1] - 该设备是全球范围内数量不足12台的高端光刻机之一 [1] - 此举巩固了该公司在准备下一代芯片制造技术方面的角色 [1] 行业技术发展 - 高数值孔径极紫外光刻机是用于制造下一代芯片的关键先进设备 [1]