业绩总结 - 2021财年第一季度净销售额为216.4亿日元，较2020财年第四季度下降2.6%[8] - 半导体生产设备(SPE)的销售额为198.1亿日元，较2020财年第四季度下降1.7%[8] - 平板显示器(FPD)的销售额为18.2亿日元，较2020财年第四季度下降23.4%[8] - 毛利为89.8亿日元，毛利率为41.5%，较2020财年第四季度上升0.6个百分点[8] - 经营收入为42.5亿日元，经营利润率为19.7%，较2020财年第四季度上升1.8个百分点[8] - 税前收入为44.5亿日元，较2020财年第四季度增长1.8%[8] - 归属于母公司的净收入为31.8亿日元，较2020财年第四季度下降1.2%[8] 成本与费用 - 销售、一般和管理费用(SG&A)为47.3亿日元，较2020财年第四季度下降8.5%[8] - 研发费用为25.6亿日元，较2020财年第四季度下降10.0%[8] - 资本支出为7.6亿日元，较2020财年第四季度增长12.6%[8] 未来展望 - 2021财年预计净销售额为1280.0亿日元，同比增长13.5%[46] - 2021财年预计半导体生产设备(SPE)销售额为1200.0亿日元，同比增长13.1%[46] - 2021财年预计平板显示器(FPD)销售额为80.0亿日元，同比增长21.0%[46] - 2021财年预计毛利润为520.0亿日元，毛利率为40.6%[46] - 2021财年预计净收入为205.0亿日元，同比增长19.7%[46] - 2021财年研发费用预计为135.0亿日元，资本支出预计为56.0亿日元[48] - 2021财年预计每股净收益为1318.10日元，同比增长147.53日元[46] - 2021财年预计股息支付为660日元，符合50%的股息支付比率[57] 现金流 - 2020年第一季度经营活动现金流为51.4亿日元[37] - 2020年第一季度自由现金流为37.6亿日元[37]