公司概况 * 微导纳米是一家专注于薄膜沉积设备（包括 ALD、CVD、PECVD）的公司，业务覆盖半导体和光伏两大领域[1] * 公司管理团队具备深厚行业经验，创始人黎伟明在 ALD 技术领域有深厚积累，周仁在 CVD 和薄膜沉积领域经验丰富，胡斌对光伏业务有深入了解[2][4] 半导体设备业务 订单与增长 * 半导体设备新签订单高速增长，2021年约 5000 万元，2022年增至 2.5 亿元，2023年达 7 亿元，2024年增长至 10 亿元[9] * 预计2025年新签订单达 18-20 亿元，其中约 80%来自存储厂商，其余 3-4 亿元来自逻辑类客户[9] * 预计2026年新签订单保守估计 25-30 亿元，乐观情况下可达 40 亿元，增速保持在 50%以上[2][10] * 增长逻辑受益于下游存储厂商的产能扩张、资本开支上行以及公司核心产品工艺覆盖度的提升[3] 技术优势 * 在 ALD 技术方面具有显著优势，工艺覆盖度达到 70%-80%[2][6] * 擅长沉积高K材料（HAKI），如二氧化铪，在一些先进逻辑器件中市占率已达 70%-80%[2][6] * 在 PECVD 方面，其高温硬掩膜 PECVD 市占率达到 90%，基本实现独供[2][6] * ALD 技术适用于先进节点（如45nm以下），具有膜厚精度控制好、台阶覆盖率高等优点，随着制程节点向28nm、14nm等更先进推进，ALD渗透率预计将从当前10%提升至20%[6] 市场趋势与需求 * 随着3D NAND结构复杂性增加（深宽比从30:1提高到60:1、90:1甚至120:1），对叠层沉积、自限填充要求更高，ALD技术需求增加[2][7] * DRAM等高深宽比结构也需要精确控制薄膜质量，先进逻辑和存储器件对ALD用量都会显著增加[2][7] * 与CVD相比，ALD速度较慢但薄膜质量更好，两者将在未来先进逻辑与存储应用中共同发挥作用[7] CVD领域发展 * 目前在CVD领域的工艺覆盖度约为40%，主要涉及二氧化硅、氮化硅、高温掩膜和TEOS等材料[3][8] * 公司已储备十多种材料，计划将工艺覆盖度提升至70%-80%，并持续投入研发[3][8] 光伏设备业务 历史表现与现状 * 在2019年至2024年期间，公司收入大部分来自光伏业务，为半导体领域的投入和研发提供了资金支持[5] * 光伏业务曾保持约40%的毛利率[5] * 光伏业务新签订单波动较大，2022年为20亿元，2023年因TOPCON技术扩展需求旺盛增至50多亿元，2024年降至20亿元，2025年预计不到10亿元，已基本触底[3][13] * 2025年上半年，半导体设备收入已接近总收入的20%[5] 未来展望 * 随着光伏行业反内卷政策落地，光伏设备业务有望恢复正常增长通道，并贡献可观利润和营收[3][13] * 公司在钙钛矿技术路线方面进行了广泛布局，包括传统晶硅叠钙钛矿技术路线设备及纯柔性钙钛矿产品，未来行业复苏和技术发展将推动相关业务[14] 新兴领域：固态电池 * 公司与国内头部电池厂达成战略合作，共同推进ALD技术在固态电池中的应用，通过在正极材料、负极材料和固体电解质膜表面包覆薄膜，提升循环寿命和首次充放电容量，降低界面阻抗[3][11] * 固态电池量产后，单吉瓦时（GWh）价值量预计约为3000万元[12] * 微导科技是唯一一家积极参与固态薄膜沉积设备开发并与头部客户合作的公司，未来将充分受益于固态电池产业化[12]