技术研发 - 公司在MO源2.0研发方面取得进展，并在高纯、低硅低氧三甲基铝方面取得关键性进展 [2] - 前驱体方面，公司正在研发和产业化从杜邦集团买入的硅前驱体专利 [2] - 电子特气方面，超高纯砷烷产品品质超过国际先进同行技术水平，超高纯磷烷产品进入国际一流制程芯片企业 [2] - 含氟电子特气方面，山东飞源气体的产品品质从4.6N提升到5N，实现从LED、LCD行业向IC行业的跨越 [2] - 光刻胶方面，两款胶已通过客户认证，分别是一家存储芯片企业和一家逻辑芯片企业 [2] 扩产情况 - MO源苏州工厂通过技术革新改造提升产能 [2] - 全椒半导体工厂的MO源2.0项目正在顺利推进，部分产品进入客户认证阶段 [2] - 高纯ALD/CVD产品通过扩产和开发新产品满足市场需求 [2] - 全椒氢类电子特气的扩产正在进行"三同时"手续办理 [2] - 飞源气体含氟电子特气生产基地通过技术改造和产能扩大，已建成3800吨/年的三氟化氮和3500吨/年的六氟化硫生产线 [3] - 乌兰察布项目规划首期建设年产3600吨的三氟化氮生产基地 [3] 销售占比 - 2021年1~9月销售总额为7.09亿元，电子特气销售占比73% [3] - 含氟电子特气销售占整个特气业务的68%，氢类占32% [3] MO源业绩 - 2021年MO源业绩增长比去年好，比预期也好 [3] - 公司实行的MO源2.0计划开拓了新应用和新客户，如第三代半导体领域的应用 [3] - LED行业处于回升期，下游客户积极转型 [3] 光刻胶认证 - ArF光刻胶已通过两家客户的认证，这两款胶都是在国内使用量比较大的技术节点的光刻胶 [3] - 公司正在聚焦国内最主要的客户进行认证，每个客户都有三四款胶在做认证 [3] - 光刻胶的认证一般需要一年以上的时间，经历四轮以上的送样 [3] 光刻胶产能 - 目前已经建成两条生产线，具备25吨的产能 [4] - 计划产能扩到50吨，相关手续正在办理中 [4] 品控与原材料 - 公司购买了一些检测设备，包括光刻机，用于检测光刻胶 [4] - 聘请了具备丰富经验的光刻工程师管理光刻胶的质量控制部分 [4] - 光刻胶原材料方面，部分单体在国内已产业化，直接购买国内的；特殊、高技术含量的关键单体由公司自己设计、合成制备 [4] 氢类混气业务 - 全椒南大光电的混气生产能力一年多前已建成，目前处于产能爬坡阶段 [4] - 混气在平板显示器和太阳能板块的用量较大，公司正在积极拓展这两个板块的客户 [4]