投资者关系活动基本信息 - 活动类别为特定对象调研 [2] - 参与单位及人员共 29 人 [2] - 活动时间为 2021 年 7 月 13 日 [2] - 活动地点在上海精测半导体技术有限公司 [2] - 上市公司接待人员为副总经理马骏先生和副总经理、董事会秘书程疆先生 [2] 设备出机情况 - 2021 年 7 月 13 日出机两款产品，分别为独立式光学关键尺寸量测设备（OCD）及电子束缺陷复查设备（Review - SEM），客户为中芯国际 [2] - OCD 设备可进行多种工艺段二维或三维样品关键尺寸特征或整体形貌测量，具有高速、准确和非破坏性等特点 [2][3] - Review - SEM 是先进的全自动晶圆在线电子束缺陷复查和分类设备，对光学缺陷检测设备结果进行高分辨率复查、分析和分类 [3] 公司产品系列 - 上海精测聚焦半导体前道检测设备领域，形成膜厚/OCD 量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列 [3] - 膜厚产品已取得国内一线客户批量重复订单，OCD 量测设备已取得订单并交付，半导体电子束检测设备 eViewTM 全自动晶圆缺陷复查设备已交付国内客户 [3] - 其余储备产品处于研发、认证以及拓展过程中 [3] 半导体业务盈利预期 - 公司预计 2021 年半导体部分产品线实现扭亏，但整体半导体业务盈利仍需更多时间和努力 [3] 国内竞争力情况 - 中国半导体检测及量测专用设备行业被国外龙头企业主导，市场集中度高，国内企业处于弱势地位 [3] - 公司现阶段竞争对手主要有科磊半导体[KLAC]、应用材料[AMAT]等 [3]