核心观点 - 建议密切关注芯源微的ArF浸没式高产能涂胶显影机的验证进展，公司正在不同客户端积极推进导入及验证工作 [1] - 对芯源微未来三年EPS预测为1 35、2 14、3 36元，增速为34 08%、58 60%、56 93%，2025年目标价108 00元 [2] - 公司2024年收入17 53亿元同比增2 13%，扣非后归母净利润7330 66万元同比-60 83%，研发费用2 97亿元同比增49 93% [3] - 2024年新签订单约24亿元同比增10%，主力产品新机在客户端顺利推进，新产品稳步推进有望贡献新增长点 [3][4] 财务表现 - 2024年收入17 53亿元同比增2 13%，扣非后归母净利润7330 66万元同比-60 83% [3] - 2024年研发费用2 97亿元同比增49 93%，增长约1亿元 [3] - 25Q1收入2 75亿元同比增12 74%，扣非后归母净利润-4006 80万元同比-564 25% [3] - 2024年新签订单约24亿元（含Demo及LOI，含税）同比增10% [3] 产品进展 - 前道涂胶显影高端Offline机台取得快速突破，I-Line、KrF机台量产跑片数据良好，ArF浸没式高产能涂胶显影机积极推进导入及验证 [3] - 前道物理清洗机获得国内领先逻辑客户批量订单 [3] - 后道先进封装用涂胶显影设备、单片式湿法设备获得海外封装龙头客户批量重复性订单 [3] - 前道化学清洗机已通过客户工艺验证并获得多家大客户订单 [4] - 临时键合机、解键合机通过多家客户验证并获订单，在手订单近20台 [4] - 2 5D/3D先进封装领域Frame清洗设备通过客户验证进入小批量销售 [4] 盈利预测 - 预计2025-2027年EPS为1 35、2 14、3 36元，增速为34 08%、58 60%、56 93% [2] - 给予公司2025年PE估值80倍，对应目标价108 00元 [2]