市场表现 - 科创芯片50ETF（588750）5月14日上涨0.78%至1.031元，连续4日净流入资金达6800万元 [1] - 标的指数成分股中芯原股份涨超2%，海光信息涨超1%，寒武纪、中芯国际微涨，恒玄科技跌超6% [1] - ETF当日振幅1.37%，委买比例56.32%，流通盘规模13.99亿份 [1] 政策支持 - 国家大基金二期、三期投资范围从芯片制造拓展至设备、材料及软件领域，2019-2024年累计投资超50亿元 [2] - 2018年国家提出关键核心技术自主可控战略，要求通过前沿技术突破掌握创新主动权 [2] - 地方政策持续加码半导体全产业链，重点强化设备、材料等薄弱环节 [2] 国产替代空间 - 2024年中国从美国进口半导体设备45亿美元，占该品类进口总额10%，前道制造设备依存度仍高 [4] - 成熟制程国产设备具备价格优势（较进口设备溢价低10%+），先进制程国产化率从2019年15%提升至2023年35% [4][5] - 光刻机国产化率不足1%，刻蚀设备达20%-30%，薄膜沉积设备低于20% [5] 技术突破 - 国产半导体设备在去胶、清洗刻蚀领域国产化率较高，CMP设备在先进制程仍100%依赖进口 [5] - 国内已实现90nm光刻工艺突破，离子注入机全球市占率低于3% [5] - 量测设备国产化率不足5%，涂胶显影设备国产化率约5%-10% [5] 投资工具 - 科创芯片50ETF（588750）覆盖芯片产业链核心环节，涨跌幅弹性达20%，场外可通过联接基金（A：020628；C：020629）申赎 [6]