半导体材料设备行业表现 - 中证半导体材料设备主题指数截至5月16日11:25上涨0.18%，成分股中科飞测上涨1.75%，江丰电子上涨1.43%，耐科装备上涨1.27%，中晶科技上涨1.15%，安集科技上涨0.94% [1] - 半导体材料ETF（562590）上涨0.09%，最新价报1.07元，今年以来累计上涨1.23% [1] - 半导体材料ETF最新份额达2.98亿份，创近1月新高，近5天获得连续资金净流入合计1518.57万元，日均净流入303.71万元 [1] 半导体设备公司订单动态 - 中微公司、拓荆科技、芯源微2025Q1季末合同负债较2024Q4季末环比增长分别为19%、26%、22%，显示国产晶圆厂积极导入国产设备带动订单增长 [2] - 北方华创2024Q3季末合同负债环比下降13%，主要受客户下单季节性影响 [2] - 长川科技2025Q1季末合同负债环比增长76%，华峰测控环比增长44%，签单动能显著增强，金海通环比下降87%因订单到收入转化周期短 [2] 半导体材料ETF投资价值 - 半导体材料ETF（562590）及其联接基金聚焦半导体设备、材料，合计权重占比超75%，全部为自主可控核心厂商，包括北方华创等A股半导体龙头 [3] - 中证半导体材料设备指数自去年下半年高点震荡回调，截至5月13日市净率4.17倍，低于上市以来73%的时间区间 [3]