机器人ETF市场表现 - 机器人ETF（562500）盘中上涨0.12%，持仓股中瀚川智能领涨5.82%，盈峰环境涨2.60%，晶品特装涨2.54% [1] - 截至当前成交金额超5.9亿元，居可比基金首位，流动性表现优异 [1] - 最新资金净流入890万元，近3个交易日累计净流入5.15亿元，新增规模与份额均居可比基金首位：规模达140.82亿元（周增11.67亿元），份额167.50亿份（周增5.98亿份） [1] 行业技术进展 - 谷歌DeepMind推出Gemini Robotics On-Device模型，为首个可直接部署于机器人的视觉-语言-动作（VLA）模型，支持离线环境下的快速任务适应 [1] 产业链投资机会 - 特斯拉人形机器人量产计划推动硬件供应链机遇，重点关注高精度减速器、高性能电机、灵巧机械手及传感器供应商 [2] - 工业自动化集成商与AI软件技术提供商（如机器人操作系统、任务规划开发企业）成为潜在投资热点 [2] - 机器人ETF（562500）覆盖人形/工业/服务机器人全产业链，为全市场唯一规模超百亿的机器人主题ETF [2]