产能利用状况 - 高纯金属溅射靶材及半导体精密零部件产能利用率良好 [1] 募投项目规划 - 定增募集资金主要用于年产5,100个集成电路设备用静电吸盘产业化项目 [1] - 定增募集资金同步用于年产12,300个超大规模集成电路用超高纯金属溅射靶材产业化项目 [1]