技术优势 - XBC激光图形化设备采用自主研发的激光器并采用双轨镜像结构 [1] - 双轨各配置两套独立的激光加工系统 具备较高产能与生产灵活性 [1] 应用领域 - 设备主要用于刻蚀掩膜、制备PN区交叉指结构、PN区隔离及钝化膜开槽 [1] 商业化进展 - 设备已在客户处完成量产验证 [1]