财务表现 - 营业收入49.61亿元 同比增长43.88% [1][6] - 净利润7.06亿元 同比增长36.62% [1][6] - 毛利率39.85% 较去年同期41.33%略有下降 主要受产品结构影响 [6] - 经营性现金流2.03亿元 同比下降46.87% 主要因营运资金需求增加 [6][7] 核心业务进展 - 刻蚀设备销售额37.81亿元 占总营收76% 同比增长40.12% [2][6] - LPCVD设备销售额1.99亿元 同比大增608.19% [3][6] - CCP刻蚀设备累计装机超4500个反应台 较去年同期增长超900个反应台 [2][6] - 双反应台产品累计装机突破3300个反应台 [2] - 5纳米及以下逻辑器件制造高端产品实现大规模量产 [3][6] 研发投入 - 研发费用14.92亿元 占营收比例高达30.07% [4][6] - 研发投入同比增长54% 几乎相当于去年全年水平 [5] - 研发投入资本化比重从去年同期39.6%下降至20.7% [5] - 在研项目涵盖六类设备 包含多个关键制程工艺核心设备开发 [5] - 预计总投资规模超过40亿元 [5] 盈利质量 - 扣非净利润增速仅11.5% 与净利润增速差距主要来自1.67亿元投资收益和公允价值变动收益 [7] - 存货增加10.4亿元 应收账款增加6亿元 [7] - 现金流增速明显滞后于利润增速 [7]