财务表现 - 2025年上半年营业收入10.50亿元，同比增长33.42% [1] - 归属于上市公司股东的净利润1.92亿元，同比大幅增长348.95% [1] - 光伏设备收入8.03亿元，同比增长31.53% [2] - 半导体设备收入1.94亿元，同比增长27.17% [2] 业务结构 - 半导体设备收入占主营业务收入比重从2023年度的7.27%提升至18.45% [2] - 光伏设备在行业下行周期仍保持近32%的增长 [2] - ALD设备已全面涵盖行业所需主流薄膜材料及工艺，实现产业化应用 [1] - CVD设备硬掩膜工艺实现产业化突破，进入存储芯片等先进器件产线 [1] 订单情况 - 半导体领域在手订单达23.28亿元，较年初增长54.72% [2] - 上半年新增半导体设备订单已超去年全年水平 [2] - 公司预计2025年半导体领域产品工艺覆盖面、客户数量和订单规模将持续增长 [1] 产能扩张 - 拟发行可转债募集不超过11.7亿元资金 [3] - 募投项目完全达产后可将半导体薄膜沉积设备产能提升超过30% [3] - 项目包括半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设和研发实验室扩建 [3] 研发投入 - 上半年研发投入1.53亿元，占营业收入比例14.59% [3] - 自2023年以来累计研发投入超8.5亿元 [3] - 60%以上研发投入投向半导体设备领域 [3] 技术发展 - 在TOPCon、XBC、钙钛矿等光伏电池技术路线上持续创新 [2] - 积极推动光伏电池片厂商通过技术创新和成本控制实现高质量发展 [2] - 半导体业务正从技术突破期迈入订单放量阶段 [2]