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菲利华:目前合肥光微光掩膜基版精密加工项目已具备批量供货能力

技术研发突破 - 公司研发成功G10.5代TFT-LCD用光掩膜基板 实现从G4.5代到G10.5代全规格生产能力覆盖 [1] - 公司此前推出国内首创8.5代TFT-LCD用光掩膜基板产品 [1] 产能建设进展 - 合肥光微光掩膜基板精密加工项目已具备批量供货能力 并实现小批量出货 [1] - 济南光微高端电子专用材料精密加工项目基础规格产品量产线完成通线 正进行量产工艺优化 [1] - 高阶产品生产工艺已按计划同步启动开发 为产品升级与工艺迭代奠定基础 [1]