凯尔达：公司控股子公司凯维力近期获得的可自校准的SOI基MEMS三维力传感器及其制备工艺发明专利
凯尔达(SH:688255) 证券日报网·2025-09-26 19:41公司技术突破 - 控股子公司凯维力近期获得可自校准的SOI基MEMS三维力传感器及其制备工艺发明专利 [1] - 该专利是公司重要技术之传感器技术的体现和延伸 [1]
凯尔达(SH:688255) 证券日报网·2025-09-26 19:41
凯尔达(SH:688255) 证券日报网·2025-09-26 19:41凯尔达(SH:688255) 证券日报网·2025-09-26 19:41公司技术突破 - 控股子公司凯维力近期获得可自校准的SOI基MEMS三维力传感器及其制备工艺发明专利 [1] - 该专利是公司重要技术之传感器技术的体现和延伸 [1]