股价表现与资金流向 - 10月16日盘中股价上涨2.02%至153.30元/股，成交额5.88亿元，换手率1.10%，总市值541.77亿元 [1] - 当日主力资金净流入2935.99万元，特大单净买入1128.12万元，大单净买入1800万元 [1] - 公司今年以来股价上涨40.51%，近60日上涨36.99%，但近5个交易日下跌5.49% [1] 公司业务与行业定位 - 公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，CMP/减薄装备销售占主营业务收入的87.70% [1] - 公司所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，概念板块包括半导体设备、中芯国际概念、先进封装等 [1] 财务业绩与股东结构 - 2025年1-6月实现营业收入19.50亿元，同比增长30.28%，归母净利润5.05亿元，同比增长16.82% [2] - 截至2025年6月30日股东户数为1.36万，较上期减少10.00%，人均流通股增加54.75%至17452股 [2] - A股上市后累计派现2.71亿元 [3] 机构持仓变动 - 华夏上证科创板50成份ETF（588000）为第四大流通股东，持股891.68万股，较上期增加90.47万股 [3] - 易方达上证科创板50ETF（588080）为第七大流通股东，持股686.29万股，较上期增加114.97万股 [3] - 嘉实上证科创板芯片ETF（588200）为第九大流通股东，持股393.37万股，较上期增加87.38万股，香港中央结算有限公司退出十大流通股东 [3]