指数及ETF表现 - 截至2025年10月20日11点10分，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨1.11% [1] - 成分股和林微纳上涨2.79%，耐科装备上涨2.72%，拓荆科技上涨2.54% [1] - 科创半导体ETF（588170）上涨1.02%，最新价报1.38元，近1月累计上涨5.48% [1] - 科创半导体ETF盘中换手率达8.03%，成交额2.91亿元，近1周日均成交8.43亿元 [1] - 科创半导体ETF最新规模达35.65亿元，创成立以来新高 [1] 行业投资与产能扩张 - 士兰微及其子公司计划向士兰集华增资51亿元，项目规划总投资200亿元 [1] - 项目规划产能为每月4.5万片，分两期实施，全部建成后将在厦门海沧区形成年产54万片的生产能力 [1] 行业结构与投资主题 - 科创半导体ETF跟踪的上证科创板半导体材料设备主题指数，其成分中半导体设备占比61%，半导体材料占比23% [2] - 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、天花板较高的属性 [2] - 行业受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮以及光刻机技术进展 [2]