（文/罗叶馨梅）10月22日，精测电子(300567.SZ)在投资者互动平台上表示，公司自主研发的准分子激光器核心模块性能指标已获客户认可，近期将送至 客户端进行批量验证。该产品标志着公司在半导体精密设备核心光源领域取得阶段性突破。 公司介绍，准分子激光器是半导体光刻及显示检测设备的重要核心部件，对精度、能量稳定性及寿命要求极高。公司研发团队经过多轮设计迭代与性能测 试，已实现核心模块的量产验证条件。 据悉，公司半导体核心零部件已获得多个重复性订单，目前正处于整机集成验证阶段，预计将在下游晶圆厂及面板厂的多场景中逐步应用。此次验证若顺 利推进，有望加快公司产品导入客户供应链体系的进程。 精测电子近年来持续加大在高端检测设备及关键核心模块的研发投入，产品覆盖半导体检测、显示检测及新能源检测三大业务板块。公司不断完善从核心 部件到整机系统的布局，推动国产化替代进程。 业内人士认为，准分子激光器核心模块的客户验证将成为公司拓展高端半导体装备市场的重要里程碑。若批量验证顺利通过，精测电子有望进一步增强其 在国产光源装备领域的竞争优势。（校对/秋贤） ...