项目投资概况 - 公司全资子公司昆山方新精密科技有限公司决定增资扩产，投资设立方新精密半导体核心零部件项目 [1] - 项目与昆山市陆家镇人民政府签署了《项目投资框架协议》 [1] - 项目总投资额为20亿元 [1] 项目具体内容 - 项目位于昆山市陆家镇陆建路东北侧 [1] - 项目主要从事匀气盘、半导体铝腔的研发、生产与销售 [1] - 项目将为半导体设备、TFT设备、OLED设备提供精密洗净服务 [1] - 项目产品广泛应用于泛半导体领域 [1] 项目战略意义与预期效益 - 项目是国家半导体产业链国产替代的重要一环 [1] - 项目达产后预计年产值将超过15亿元 [1]