项目投资核心信息 - 公司全资子公司昆山方新精密科技有限公司决定在昆山市陆家镇增资扩产，投资设立方新精密半导体核心零部件项目 [1] - 项目已与昆山市陆家镇人民政府签署《项目投资框架协议》 [1] - 项目总投资额为20亿元，达产后预计年产值将超过15亿元 [1] 项目业务内容与定位 - 项目拟主要从事匀气盘、半导体铝腔的研发、生产与销售 [1] - 项目将为半导体设备、TFT设备、OLED设备提供精密洗净服务 [1] - 产品广泛应用于泛半导体领域，是国家半导体产业链国产替代的重要一环 [1]