财务表现 - 前三季度营业收入80.63亿元，同比增长46.40% [1] - 前三季度净利润12.11亿元，同比增长32.66% [1] 业务分部 - 刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长38.26%，是公司主要收入来源 [1] - LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比大幅增长1332.69%，呈现爆发式增长 [1]