珂玛科技:12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产

公司业务与产品应用 - 公司先进陶瓷主要应用于晶圆制造前道工艺设备,包括存储芯片制造 [1] - 产品已进入刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散等多种设备 [1] 产品研发与商业化进展 - 公司12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产 [1] - 12英寸多区加热静电卡盘已完成产品开发,正积极推进验证进程 [1]