珂玛科技(301611.SZ)：12寸多区加热静电卡盘已完成产品开发
公司产品应用领域 - 公司先进陶瓷主要应用于晶圆制造前道工艺设备 包括存储芯片 [1] - 产品已进入刻蚀 薄膜沉积 离子注入 光刻和氧化扩散等多种设备 [1] 核心产品研发进展 - 12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产 [1] - 12寸多区加热静电卡盘已完成产品开发 正积极推进验证进程 [1]
公司产品应用领域 - 公司先进陶瓷主要应用于晶圆制造前道工艺设备 包括存储芯片 [1] - 产品已进入刻蚀 薄膜沉积 离子注入 光刻和氧化扩散等多种设备 [1] 核心产品研发进展 - 12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产 [1] - 12寸多区加热静电卡盘已完成产品开发 正积极推进验证进程 [1]