深耕核心工艺 培育半导体行业“生态林”

公司战略与定位 - 公司秉持“保障产业链每一个环节都不掉链子”的战略选择,认为这比短期财务核算更重要 [1] - 公司从高纯工艺系统起家,深耕行业25年,已发展成为覆盖“工艺-装备-材料”的综合服务商 [1] - 公司采用“三位一体”的战略构想,从单一系统集成商向综合服务商发展,不断扩展能力圈 [1] 核心业务与技术进展 - 在高纯工艺领域,公司是国内头部专业厂商,设计制造的高纯气体设备及系统和高纯化学品设备及系统服务于干法和湿法工艺用户 [2] - 湿法设备已实现全工艺覆盖,28纳米节点设备开发全部完成且全工艺机台均有订单 [2] - 在更先进制程节点,子公司至微科技已取得部分工艺订单,高阶设备如高温硫酸、FIN ETCH、单片磷酸等产品的交付和验证进度处于国内领先水平 [2] - 公司已建成完全国产化的12英寸晶圆对应28纳米的大宗气体供应工厂并稳定运行,成功打破海外垄断格局 [3] - 第二座服务于12英寸晶圆量产线的大宗气站已进入运营阶段,将随着客户产能爬升贡献稳定营收 [3] 研发与创新能力 - 公司技术研发需要在技术纵深与应用广度中寻求平衡,研发分为三个层面:立足当下、着眼近期、布局长远 [3] - 截至2025年上半年,公司集团累计申请专利865件(发明专利356件),授权专利615件(发明专利194件),拥有软件著作权185件,注册商标163件 [3] - 研发项目评审更看重战略必要性,如获取关键客户、打造行业标杆或突破技术,成熟业务为前沿技术攻关提供现金流 [4] 财务与风险管理 - 公司将负债率控制在50%至65%的区间,下限为保证资金投入和发展机遇,上限为严格管控风险和经营稳健性 [5] 客户服务与供应链 - 公司建立了覆盖全国主要半导体聚集区的现场服务团队,提供7x24小时快速响应及TGM/TCM驻厂服务 [5] - 在国内高纯工艺系统主流12寸晶圆厂的特气项目中,公司中标率很高,超越不少国际供应商 [5] - 公司成立专项工作小组进行本土上游供应链培养,在知识产权自主基础上准备供应链自主 [6] - 公司的核心价值主张之一是成为客户首选的供应商和共同成长的伙伴 [6]