合作研发项目概述 - 公司控股子公司下属公司佛山芯慧联拟牵头与国内知名高校及研究机构共同签订合作研发项目合同书，参与开发大世代干法刻蚀装备 [1] - 佛山芯慧联作为牵头单位，计划投入自有资金2.186亿元用于该项目 [1] - 合作研发项目旨在推动国产大世代刻蚀装备的产业化落地 [1] 技术基础与合作目标 - 项目将充分发挥公司研发团队在大世代刻蚀装备领域深厚的技术积累 [1] - 通过与高校及科研机构深度合作的方式共同推进技术发展 [1]