合作研发项目概况 - 公司子公司佛山芯慧联拟签订合作研发项目合同书，共同开发大世代干法刻蚀装备 [1] - 佛山芯慧联作为项目牵头单位，项目负责人为公司董事、联席总经理刘红军 [1] - 项目联合国内知名高校及研究机构共同参与开发 [1] 项目投入与审批 - 佛山芯慧联拟投入自有资金21860万元用于该合作研发项目 [1] - 公司第五届董事会第十八次会议于2025年11月17日审议通过了关于子公司签订合作研发项目合同书的议案 [1]