公司股价与交易表现 - 11月20日股价下跌5.02%，报收57.08元/股 [1] - 当日成交金额为4.60亿元，换手率达到7.74% [1] - 公司总市值为263.23亿元 [1] 公司业务概况 - 公司主营业务以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于微、纳米级薄膜沉积设备的研究与产业化 [1] - 业务覆盖光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业，提供高端装备与技术解决方案 [1] - 主营业务收入构成为：光伏设备76.54%，半导体设备18.43%，配套产品及服务3.07%，其他业务合计约1.96% [1] 主要机构投资者动态 - 鹏华基金旗下1只基金位列公司十大流通股东 [2] - 科创100ETF基金（588220）于三季度新进十大流通股东，持有83.68万股，占流通股比例0.83% [2] - 按11月20日股价计算，该基金当日浮亏约252.73万元 [2] 相关基金产品表现 - 科创100ETF基金（588220）成立于2023年9月6日，最新规模为75.52亿元 [2] - 该基金今年以来收益率为44.07%，近一年收益率为38.48%，成立以来收益率为29.19% [2] - 基金经理苏俊杰累计任职时间7年296天，管理基金资产总规模249.24亿元，任职期间最佳基金回报为81.69% [3]