艾森股份:公司超高感度PSPI光刻胶目前正处于主流晶圆客户的可靠性验证阶段

公司产品研发进展 - 艾森股份的超高感度PSPI光刻胶产品目前正处于主流晶圆客户的可靠性验证阶段 [1] - 该产品在PSPI上创新性地引入了化学放大的方式 [1] - 该技术可以极大地节约曝光时间,并降低芯片制造成本 [1]