盛美上海:公司已推出多款适配HBM工艺的设备
证券日报网讯 12月8日,盛美上海在互动平台回答投资者提问时表示,目前,盛美上海已推出多款适配 HBM工艺的设备。其中,公司的UltraECP3d设备可用于TSV铜填充;全线湿法清洗设备及电镀铜设备 等均可用于HBM工艺,全线封测设备(包括湿法设备、涂胶、显影设备及电镀铜设备)亦可应用于大 算力芯片2.5D封装工艺。关于业务信息及订单情况,请参见公司披露的定期报告,后续如若相关业务信 息达到信息披露标准,公司将严格按照相关规定,及时履行信息披露义务。 (文章来源:证券日报) ...