公司战略与计划 - 特斯拉CEO埃隆·马斯克确认公司将建立自己的2nm晶圆厂 [3] - 马斯克以夸张方式强调其晶圆厂愿景,称其可以在晶圆厂内一边吃芝士汉堡一边抽雪茄 [1] 晶圆厂设计与洁净室标准 - 现代晶圆厂是大型一体化制造设施,包含超洁净生产洁净室、真空泵与气体处理系统、专用服务走廊、集中化学品输送与废物管理基础设施以及办公控制区域 [4] - 洁净室是晶圆厂建筑内的独立单元,与外壳其他部分完全隔离,其洁净度由ISO等级标准规定 [4] - 晶圆制造最关键的操作(如EUV或DUV光刻曝光、先进栅极形成)在ISO 1级和ISO 2级洁净室中进行 [4] - ISO 1级洁净室每立方米空气中最多允许10个≥0.1 µm的颗粒和2个更大的颗粒 [4] - ISO 2级洁净室每立方米空气中最多允许100个≥0.1 µm的颗粒和38个更大的颗粒 [4] - ISO 3级洁净室每立方米空气中最多允许1000个≥0.1 µm的颗粒,洁净度仍远高于典型环境,用于对洁净度要求不高的操作 [4] 污染控制与行业实践 - 马斯克认为当前芯片制造行业建造洁净室的方式是错误的 [3] - 马斯克提出所有晶圆应始终处于密封状态,晶圆制造整个过程应处于隔离状态,这是四代晶圆厂的默认设置,晶圆运输时装在充满氮气的箱子里并保持微正压环境 [3] - 在光刻等核心环节所需的ISO 1-3级洁净室环境中,吸烟或吃汉堡是绝对禁止的,因为这会产生数亿甚至数十亿的微粒 [5] - 人类一次呼吸就会产生数百万个微粒以及水分,更不用说细菌或病毒等有机污染物,即使有隔离措施,人类呼吸仍可能影响环境、超灵敏的EUV光刻镜乃至化学工艺 [5] - 由于污染控制和安全要求,工厂其他区域也禁止饮食和吸烟 [5] - 理论上,马斯克可以在办公区域吃汉堡、抽雪茄,但大多数办公楼本身禁止吸烟 [5]
马斯克确认:将建2nm晶圆厂!但他想在里面抽雪茄、吃汉堡!