核心观点 - 中国首台串列型高能氢离子注入机成功研制，核心指标达国际先进水平，标志着中国全面掌握该设备全链路研发技术，攻克了功率半导体制造关键环节 [1] 技术突破与研发成果 - 设备由中核集团中国原子能科学研究院自主研制，型号为POWER-750H，并成功出束 [1] - 研发依托核物理加速器领域数十年积累，以串列加速器技术为核心，掌握了从底层原理到整机集成的正向设计能力 [1] - 此举打破了国外企业在该领域的技术封锁和长期垄断 [1] 行业地位与重要性 - 离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称为芯片制造“四大核心装备”，是半导体制造不可或缺的“刚需”设备 [1] - 高能氢离子注入机此前完全依赖国外进口，研发难度大、技术壁垒高，是制约中国战略性产业升级的瓶颈之一 [1] 产业影响与意义 - 这是核技术与半导体产业深度融合的重要成果 [1] - 将有力提升中国在功率半导体等关键领域的自主保障能力 [1] - 为推动高端制造装备自主可控、保障产业链安全奠定坚实基础 [1]