公司发展历程与关键节点 - 公司于2013年创立，从深圳一间不足100平方米的办公室起步，初始团队仅5名员工，创业方向定为等离子体射频电源系统[2] - 2015年，公司第一代1KW工业级射频电源问世，但在客户端测试中性能仍有短板[3] - 2018年，公司与国内薄膜沉积设备龙头拓荆科技展开首次合作，为其PECVD设备定制开发射频电源系统，专项团队进行了近三年的高强度开发和测试迭代[4] - 2020年底，公司的等离子体射频电源系统产品正式通过拓荆科技验证并获得首批批量订单，此订单被视为公司命运的转折点[4][5] - 2021年，公司向中芯国际交付的产品，实现了刻蚀设备用射频电源的首次国产原位替换[5] - 2024年1月28日，公司在科创板挂牌上市[1] 公司经营与财务表现 - 2022年至2024年，公司营收从1.58亿元增至5.41亿元，净利润从2618万元增至1.42亿元[6] - 2022年至2024年，公司营收及净利润的复合增长率分别高达84.91%和131.87%[6] - 2022年至2024年，公司产能利用率连续超过100%[6] - 2024年，公司在中国半导体行业等离子体射频电源系统的国产厂商中，市场份额位列第一[5] 产品与技术进展 - 等离子体射频电源系统是半导体制程中薄膜沉积、刻蚀等核心工艺控制的“心脏”[2] - 公司产品线从CSL系列，迭代至可支撑28纳米制程的Bestda系列，再到突破7纳米至14纳米先进制程的Aspen系列[5] - 目前，公司第三代Aspen系列产品在调谐时间、功率精度等关键指标上已能比肩国际龙头的次新一代产品，部分关键指标已达到与海外龙头企业次新一代产品同等技术水平[5][6] - 公司已启动针对5纳米及以下制程的第四代产品研发，旨在实现与国际最先进产品的“并跑”[6] 客户与市场拓展 - 获得拓荆科技的首个批量订单后，中微公司、北方华创、盛美上海等国内主要半导体设备商相继成为公司客户[5] - 随着行业认可度提升，公司产品的客户验证周期已缩短至一年之内[5] - 公司计划利用IPO募资拓展产品线，并向光伏、显示面板等更广阔的应用领域进军[6] 行业背景与公司战略 - 2013年创业时，中国半导体产业处于萌芽阶段，国产半导体零部件装备在晶圆厂中几乎没有一席之地，国内晶圆厂装备清一色来自国外[2] - 公司的创立源于解决国内半导体产业被“卡脖子”困境的决心，目标是实现自主可控[1][2] - 公司的愿景是成为一家围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司[1] - 公司通过坚守从研发、生产到售后的严格全流程管控体系来保证半导体级产品品质[5] - 公司登陆科创板募资主要用于沈阳产业化基地、深圳智能化生产基地及研发中心建设，以解决产能瓶颈并加强研发[6] - 公司的长期目标是从实现自主可控到持续与国际巨头同台竞技，在全球半导体产业链中占据一席之地[6]