董事长专访 | 恒运昌乐卫平:十二年“长跑”推动射频电源系统国产化

公司发展历程与关键转折 - 公司于2013年创立,从深圳一间不足100平方米的办公室起步,创始团队仅5人,初期面临资金、人才和市场信任等巨大挑战,但仍将有限资源全部投入研发 [5] - 2015年,公司第一代1KW工业级射频电源问世,但初期产品性能存在短板 [6] - 2018年,公司与国内薄膜沉积设备龙头拓荆科技达成合作,为其PECVD设备定制开发射频电源系统,组建专项团队进行了近三年的高强度开发和测试迭代 [7] - 2020年底,产品通过拓荆科技验证并获得首批批量订单,此订单被视为公司命运的转折点,带来了关键现金流并建立了行业信用背书 [7] - 此后,公司成功开拓了中微公司、北方华创、盛美上海等国内主要半导体设备客户,验证周期缩短至一年之内 [7] 产品与技术演进 - 公司核心产品为等离子体射频电源系统,是半导体薄膜沉积、刻蚀等核心工艺控制的“心脏” [5] - 产品线从CSL系列,迭代至支持28纳米制程的Bestda系列,再发展到突破7纳米至14纳米先进制程的Aspen系列 [8] - 2021年,公司向中芯国际交付的产品,实现了刻蚀设备用射频电源的首次国产原位替换 [8] - 目前,第三代Aspen系列产品在调谐时间、功率精度等关键指标上已能比肩国际龙头企业的次新一代产品 [10] - 公司已启动针对5纳米及以下制程的第四代产品研发,旨在与国际最先进产品实现“并跑” [10] 市场地位与财务表现 - 2024年,公司在中国半导体行业等离子体射频电源系统的国产厂商中,市场份额位列第一 [8] - 财务数据显示高速增长:营收从2022年的1.58亿元增至2024年的5.41亿元,净利润从2618万元增至1.42亿元 [9] - 2022年至2024年,营收及净利润的复合增长率分别高达84.91%和131.87% [9] - 同期,公司产能利用率连续超过100% [9] 上市募资与未来战略 - 公司于1月28日在科创板挂牌上市,上市被视为新的起点 [4] - 公司愿景是成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司 [4] - IPO募资将主要用于沈阳产业化基地、深圳智能化生产基地及研发中心建设 [9] - 沈阳基地旨在解决产能瓶颈,深圳基地和研发中心则旨在拓展产品线,并向光伏、显示面板等更广阔应用领域进军 [9] - 公司强调坚守质量流程,建立从研发、生产到售后的严格全流程管控体系,绝不因交付压力降低品质标准 [9] 行业背景与创业驱动力 - 2013年创业时,中国半导体产业处于萌芽阶段,国产半导体零部件在晶圆厂中几乎没有一席之地,装备完全依赖进口,面临“卡脖子”困境 [5] - 创始人因目睹国内客户缺乏定价权和交付保障的困境,决心放弃外企优厚待遇进行创业 [5] - 公司与早期合作伙伴均秉持国产化的坚定信念,这为合作奠定了基础 [6] - 公司的长期目标是从实现自主可控,到持续与国际巨头同台竞技,在全球半导体产业链中占据一席之地 [10]

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