至纯科技:公司是国内系统集成领域及支持设备的领先企业,在国内12英寸晶圆厂特气系统市场份额接近50%

(文章来源:证券日报) 证券日报网讯 1月28日,至纯科技在互动平台回答投资者提问时表示,公司主要业务聚焦集成电路领 域,为客户提供制程设备、系统集成及支持设备及由此衍生出来的电子材料、专业服务等。公司是国内 系统集成领域及支持设备的领先企业,在国内12英寸晶圆厂特气系统市场份额接近50%,化学品系统市 占率超30%。湿法设备方面,公司产品聚焦前道工艺,已覆盖28纳米制程节点全部工艺,并在更先进制 程节点取得突破,高温硫酸、FINETCH等高端工艺机台验证进度国内领先,目标是实现进口替代。 ...

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