公司上市与市场地位 - 公司于2026年1月28日在上海证券交易所科创板上市，成为当年首家科创板上市企业 [1] - 公司是中国半导体产业链的重要一员，核心产品为等离子体射频电源系统 [1] - 根据弗若斯特沙利文统计，2024年公司在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额位居第一 [3] 核心技术突破与产品 - 核心产品等离子体射频电源系统是半导体设备中技术壁垒最高的核心零部件之一，被誉为控制等离子体的“纳米手术刀” [2] - 该领域长期被美国MKS与AE两大巨头垄断，2024年国产化率不足12% [2] - 公司通过十余年自主创新，构建了三大基石技术体系和八大产品化支撑技术，形成完全自主可控的核心技术链 [2] - 公司产品已迭代至第三代Aspen系列，可覆盖7-14纳米先进制程，达到国际先进水平并填补国内空白 [2] - 截至2025年6月30日，公司累计获得261项授权专利，其中发明专利108项，另有133项发明专利处于申请阶段 [2] - 公司承担了工业和信息化部、科技部的三项国家级重大科研课题 [2] 客户合作与业绩表现 - 公司已与拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商建立深度战略合作关系 [3] - 产品广泛应用于刻蚀、PECVD、ALD等关键制程，并最终进入中芯国际等晶圆厂产线 [3] - 在国产化浪潮推动下，公司业绩快速增长：2022年至2024年，营收从1.58亿元跃升至5.41亿元，年均复合增长超80% [3] - 同期，扣非后归母净利润从1961.17万元增长至1.29亿元，盈利能力持续增强 [3] 募投项目与未来规划 - 本次IPO募集资金将投向五大方向：沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心建设项目以及补充流动资金 [4] - 募投项目旨在系统性强化产能保障、技术领先与客户服务能力 [4] - 沈阳产业化建设项目将建设现代化生产基地，大幅提升等离子体射频电源系统的量产能力 [5] - 智能化生产运营基地和研发中心项目将进一步丰富产品线，包括低频大功率等离子体射频电源、PVD直流溅射电源、远程等离子体源等，并探索在光伏、显示面板、精密光学等领域的应用延伸 [5] - 公司计划在全国主要半导体产业集群设立技术支持中心，打造“产品+服务”一体化解决方案能力 [5]