龙图光罩:公司将积极稳妥地推进合格国产基板的验证与导入工作

行业技术现状与挑战 - 目前国内高纯石英基板在满足高端光罩要求上,主要技术指标存在差距,具体体现在材料纯度、缺陷密度、表面平坦度及热膨胀系数稳定性等方面 [1] - 这些技术指标直接影响光罩的精度与良率 [1] - 差距根源在于高纯度合成与超精密加工等核心技术积累不足 [1] 公司策略与展望 - 公司乐见并支持国内高端基板技术的突破 [1] - 在相关国产产品能够持续满足工艺稳定性与良率要求的前提下,公司将积极稳妥地推进合格国产基板的验证与导入工作 [1]