公司技术方案与客户选择 - 微导纳米在ALD设备中提供水蒸气和臭氧两种氧源配置选择[1] - 公司出厂的设备能够为客户提供多种配置选择[1] - 客户在实际运行中会根据成本、稳定性、工艺控制等因素决定具体采用的工艺路线[1]